超细颗粒物，在一些领域认为是指当量粒径小于0.1μm的颗粒物，即PM0.1。  例如，《中华人民共和国国家标准洁净厂房设计规范》中“超微粒子”（ultrafine particle）定义即为“具有当量直径小于0.1微米的粒子”。

也有报道称，国际上，空气动力学直径小于0.1微米的为 “极细颗粒物或超细颗粒物”（PM0.1）。

  但是，2012年全国科学技术名词审定委员会为PM2.5命名为“细颗粒物”时顺带提出“直径在1微米以下的颗粒物（即PM1）可以称为超细颗粒物”，该组织尚未对超细颗粒物正式定名。


与之类似，“可吸入颗粒物”为空气动力学当量直径在10微米以下的颗粒物，即PM10；“细颗粒物”为空气动力学当量直径在2.5微米以下的颗粒物，即PM2.5。